Модель AFIXX 20m – это настольная система из двух модулей, подходит для полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм и подложек размером до 150х150 мм, разработана для лабораторных применений.
Размеры пластин/подложек
Диаметр пластин до 200 мм,
Размер подложек до 150х150 мм
Модули
Монтажная голова, нагревательная плита
Нагрев
До 200°С (опция до 400°С)
Требуемые подключения
Электропитание: 220 В, 1 фаза, 50 Гц, 16А
Вакуум: -0,8 бар
Вытяжка
Габариты (общие)
786 х 350 х 385 мм
