Лабораторная центрифуга BASIXX SB20+ это встраиваемая в рабочий стол полуавтоматическая установка, предназначенная для реализации процессов фотолитографии – нанесения и проявления фоторезиста, отмывки и сушки пластин. В рабочих программах задаются скорость вращения центрифуги, параметры подачи материала и перемещения манипулятора дозатора, другие параметры процесса. Центрифуга BASIXX SB20+ разработана для использования в лабораториях, мелкосерийного производства и выполнения НИОКР.
Размеры пластин/подложек
Круглые диаметром до 200 мм
Квадратные с размерами до 150х150 мм
Скорость вращения центрифуги
До 10000 об/мин, шаг регулировки 1 об/мин
Ускорения вращения
До 4000 об/мин за секунду
Время обработки
999,9 с; с шагом 0,1 с
Материал чаши
Полипропилен
Количество линий дозирования
До 5 шт.
Требуемые подключения
Электропитание: 230 В, 1 фаза, 50/60 Гц;
Вакуум: -0,8 бар
Вытяжка: приблиз. 30 м3/ч
Подача азота (опционально): 4±0,2 бар;
Подача сжатого воздуха (опционально): 8±2 бар
Размеры (с закрытой крышкой)
490 х 440 (500) х 432 мм
