Установка для удаления краевого валика после нанесения фоторезиста на подложках любой формы Osiris UNIXX EBR A20

Установка подходит для удаления краевого валика после нанесения фоторезиста на подложках любой формы. Установка может быть сконфигурирована для работы с различными растворителями или включать в себя источник УФ излучения.

• Ручная загрузка/выгрузка подложек
• Подходит для подложек различных размеров и толщины, для широкого спектра материалов, включая: Si, SiC, стекло, пластик, металл и др.
• Запатентованный инструмент для удаления краевого валика
• Автоматическое выравнивание подложки с высокой точностью
• Регулируемый поток растворителя и азота для снятия фоторезиста
• Доступные различные типы держателей подложки
• Надежность и простота обслуживания
• Удобный интерфейс пользователя: цветной дисплей, ПО для создания и редактирования рецептов, визуализация процесса в режиме реального времени

Возможна поставка в виде встраиваемого модуля