VARIXX 1204 – это полностью автоматизированный кластер, предназначенный для нанесения, сушки, проявления и задубливания фоторезистов. Кластер состоит из четырех модулей, объединенных в единую автоматизированную платформу, управляемую встроенным программным обеспечением. VARIXX 1204 позволяет обрабатывать пластины диаметром до 300 мм или прямоугольные подложки размером до 150х150 мм.
Размеры пластин/подложек
Круглые диаметром от 200 мм до 300 мм
Квадратные с размерами от 9 x 9 дюймов до 21 x 21 дюйма
Модули
Нанесение центрифугой и спреем, проявление, сушка, покрытие ГМДС, удаление краевого валика
Нагрев
До 300°С (опция до 600°С)
Класс чистоты
10 (ISO 4)
Система управления
ПК с ОС Windows, графический интерфейс
Требуемые подключения
Электропитание: 400 В, 3 фазы, 50 Гц
Сжатый воздух: 8 бар ± 2 бар
Азот: 4.5 бар
Вакуум: -0,8 бар
Деионизованная вода: 3 бар + 1,0 бар
Вытяжка, дренаж
Габариты
1 300 x 1 300 x 2 100 мм
