Серия EURA представлена тремя моделями установок: EURA-W – установка травления научно-исследовательского уровня. EURA-C – установка травления уровня НИОКР. EURA-D – крупномасштабная установка травления. Все системы этой серии используют ионы кислорода для "выжигания" остатков фоторезиста.
EURA-W
EURA-D
EURA-C
Процессы
Травление, удаление непроявленного фоторезиста, зачистка фоторезиста, очистка плазмы
Размер подложки
Заготовка до макс. 12 дюймов
500 мм * 500 мм
макс. 8 дюймов
Температура подложки
Охлаждение или макс. 300℃
RT
Мощность радиочастотного излучения
2KW @13.56Mhz
Предельное давление
< 5,0×10-3 Торр
Насос
Сухой насос или роторный насос
Подача газа
Ar, O2,...и т.д.
Ar, O2, CF4 и т.д.
Управление
Управление с помощью ПК
Габариты
800 мм*800 мм*1 150 мм
1 200 мм * 1 000 мм * 1 150 мм
650 мм*750 мм*1 600 мм
