PERI-ICP - это установка травления в индуктивно-связанной плазме.
Материал для травления
Травление металлических и диэлектрических материалов
Размер подложки
Макс. 8 дюймов
Выход продукта
1 пластина/партия
Предельное давление
< 5,0E-3 Торр
Контроль давления
Маятниковый клапан, манометр Баратрон
Вакуумный насос
Сухой насос или роторный насос
Подача газа
SF6, CHF3, CF4, C4F8, BCl3,Cl2O2, Ar, He
Управление
Управление с ПК (программное обеспечение UPRO)
Габариты (Ш*Д*Г)
2 050 мм X 800 мм X 1 600 мм
