ПЛАНШАЙБА
Перемещение
Вращение
Скорость вращения
Макс. 200 об/мин
Площадь панели
30"
КОНДИЦИОНЕР
Вращение/зачистка
ДРУГОЕ
Подача шлама
Сверху вниз
Очистка поверхности
Высокое давление (Охлаждающая жидкость на основе деионизированной воды)
Ввод-вывод пластин
Сухой вход/мокрый выход
Ввод
Высокое давление
Вертикальный
Передача
Робот
3-осевой
Очиститель №1,2
Использование химикатов
HF, HN4OH, SC1
Очистка щеткой
Двухсторонняя очистка
Установка для центробежной сушки после отмывки
Сканирующая насадка
Охлаждающая жидкость на основе деионизированной воды
