ПОЛИРОВАЛЬНИК (ГОЛОВКА)
Движение
Вращение/колебания
Тип головки
Мембрана / удерживающее кольцо
ПЛАНШАЙБА
Вращение
Скорость вращения
Макс. 190 об/мин
Колодка
30"
КОНДИЦИОНЕР
Вращение / зачистка
Протравливание
In / Ex-situ
Размер DD
4 "
ДРУГОЕ
Подача шлама
Сверху вниз
Очистка площадки
Высокое давление DIW
Ввод-вывод пластин
Сухой вход/мокрый выход
