Автоматический сортировщик вафель - это полностью автоматическое многофункциональное оборудование для измерения и сортировки, которое может быть настроено в соответствии с требованиями заказчика, и в нем могут быть реализованы различные функции. Получение удельного сопротивления всей пластины, а также получение информации о типе носителя пластины и шероховатости поверхности. Оборудование представляет собой большую настольную машину. Во время измерения пластины автоматически перемещаются роботом из кассеты с пластинами внутрь прибора для тестирования, а затем сортируются в соответствии с рецептом и результатами измерений, и автоматически сортируются по разным пластинам в коробке.
Толщина
Емкостные датчики
Удельное сопротивление
Принцип вихревых токов
Допант
Система поверхностного фотонапряжения
Шероховатость
Система автофокуса
Диаметр пластины
150 мм, 200 мм, 300 мм
Радиальный охват робота
14,4 дюйма
Воспроизводимость
+/-25 мкм
MTBF
>75,000h
Требования к чистоте
класс 1
Распознавание текста
OCR