Измеритель толщины и плоскостности (TTV) с высоким разрешением для кремниевых пластин толщиной 150-200 мм. Легкая адаптация к различным диапазонам толщины в течение нескольких секунд. Поставляется с программным обеспечением MX-NT.
Диаметр пластины
150 мм, 200 мм
Точность
±0,1 мкм
Разрешение
10 нм
Пространственное разрешение
1 мм
Сканирование
4
Программное обеспечение
MXNT
