Геометрический калибратор для производства микросхем на кремниевых пластинах диаметром 300 мм. MX2012 работает как автономная станция с ручной загрузкой и производительностью не менее 50 пластин в час. С помощью 69 точек измерения он контролирует толщину, изгиб и коробление с высоким разрешением. Опционально возможна оценка напряжений на пластинах.
Диаметр пластины
до 300 мм
Точность измерения толщины
±0,5 мкм
Разрешение
50 нм
Диапазон толщины
500 - 900 мкм
Автоматическое измерение геометрических параметров пластин
да
Программное обеспечение
MXNT
