Ленточный сортировщик E+H MX202

Цена: По запросу
Заявка на консультацию

Сортировщик MX202 - это полностью автоматическое многофункциональное оборудование для измерения и сортировки, которое может быть настроено в соответствии с требованиями заказчика. Можно реализовать различные функции. Он может измерять толщину, TTV, Bow и Warp емкостным методом, а также получать полный кристалл вихретоковым методом. Сопротивление круга также может быть использовано для получения информации о типе вафельного носителя и шероховатости поверхности. Оборудование представляет собой большую настольную машину. Во время измерения пластины автоматически перемещаются роботом из кассеты с пластинами внутрь прибора для тестирования, затем сортируются в соответствии с рецептом и результатами измерений и автоматически сортируются на разные пластины в коробке.

Толщина

Емкостные датчики

Удельное сопротивление

Принцип вихревых токов

Допант         

Система поверхностного фотонапряжения

Диаметр пластины   

2-8 дюймов

Емкость                                                                             

1000 пластин/ч

Воспроизводимость                                       

±0.1μm

Точность толщины

±0.5μm

Требования к чистоте

 класс 1

Удельное сопротивление

0.001-200Ω·cm

Сортировщик MX202 - это полностью автоматическое многофункциональное оборудование для измерения и сортировки, которое может быть настроено в соответствии с требованиями заказчика. Можно реализовать различные функции. Он может измерять толщину, TTV, Bow и Warp емкостным методом, а также получать полный кристалл вихретоковым методом. Сопротивление круга также может быть использовано для получения информации о типе вафельного носителя и шероховатости поверхности. Оборудование представляет собой большую настольную машину. Во время измерения пластины автоматически перемещаются роботом из кассеты с пластинами внутрь прибора для тестирования, затем сортируются в соответствии с рецептом и результатами измерений и автоматически сортируются на разные пластины в коробке.

Толщина

Емкостные датчики

Удельное сопротивление

Принцип вихревых токов

Допант         

Система поверхностного фотонапряжения

Диаметр пластины   

2-8 дюймов

Емкость                                                                             

1000 пластин/ч

Воспроизводимость                                       

±0.1μm

Точность толщины

±0.5μm

Требования к чистоте

 класс 1

Удельное сопротивление

0.001-200Ω·cm