Сортировщик MX202 - это полностью автоматическое многофункциональное оборудование для измерения и сортировки, которое может быть настроено в соответствии с требованиями заказчика. Можно реализовать различные функции. Он может измерять толщину, TTV, Bow и Warp емкостным методом, а также получать полный кристалл вихретоковым методом. Сопротивление круга также может быть использовано для получения информации о типе вафельного носителя и шероховатости поверхности. Оборудование представляет собой большую настольную машину. Во время измерения пластины автоматически перемещаются роботом из кассеты с пластинами внутрь прибора для тестирования, затем сортируются в соответствии с рецептом и результатами измерений и автоматически сортируются на разные пластины в коробке.
Толщина
Емкостные датчики
Удельное сопротивление
Принцип вихревых токов
Допант
Система поверхностного фотонапряжения
Диаметр пластины
2-8 дюймов
Емкость
1000 пластин/ч
Воспроизводимость
±0.1μm
Точность толщины
±0.5μm
Требования к чистоте
класс 1
0.001-200Ω·cm