Автоматическая установка для измерения геометрических параметров тонких 150- и 200-миллиметровых кремниевых пластин. Благодаря 21 точке измерения он контролирует толщину, изгиб и коробление после шлифовки обратной стороны. Производительность не менее 80 пластин в час.
Диаметр пластины
50 мм, 75 мм, 100 мм, 150 мм, 200 мм
Точность измерения толщины
±0,5 мкм~±1 мкм
Разрешение
50 нм~100 нм
Диапазон толщины
50-900 мкм
Автоматическое измерение геометрических параметров пластин
да
Программное обеспечение
MXNT
