Простой одноточечный толщиномер для кремниевых пластин толщиной 50 мм, 75 мм, 100 мм, 150 мм, 200 мм и 300 мм.
Работает как автономно, так и подключается к ПК, что позволяет собирать данные нескольких измерений, рассчитывать разнотолщинность (TTV), среднее значение или стандартное отклонение как отдельных пластин, так и целых партий пластин.
Диаметр пластины
до 200 мм
Точность измерения толщины
±0,5 мкм
Разрешение
10 нм
Динамический диапазон
800 мкм
Диапазон толщины
по умолчанию 200 - 1000 мкм
Переключение на измерения материалов с высоким разрешением
да
Программное обеспечение
EHMaster
