Бесконтактный измеритель удельного сопротивления полуизолирующих пластин размером до 150 мм.
MX601 измеряет удельное сопротивление пластин из полуизолирующих материалов, таких как арсенид галлия или карбид кремния. Быстрота работы без подготовки пластин и отличная повторяемость при максимальной минимизации пьезоэлектрических эффектов. Интерфейс MX601 обеспечивает оценку и статистику данных, а также доступ к калибровочным константам и типам выходных сигналов
Диаметр пластины
до 150 мм
Площадь сенсора Ø
10 мм
Диапазон толщины
350 - 650 мкм
Время измерения
макс. 4 сек.
Воспроизводимость
± 1%
Программное обеспечение
EHMaster
