Комбинированный толщиномер и измеритель удельного сопротивления для кремниевых пластин диаметром 200 и 300 мм.
Прибор MX6012 предназначен для определения характеристик кремниевых пластин. Он сочетает в себе бесконтактные датчики толщины и удельного сопротивления. В дополнение к центральному измерению можно определить до 15 дополнительных точек для каждого скана. Опционально возможно идентичное сканирование после поворота на 90°. Подключается к ПК через последовательный интерфейс. Поставляется с операционным программным обеспечением MX-NT. Возможна интеграция в автоматические роботизированные сортировочные системы.
Диаметр пластины
200 мм, 300 мм
Толщина
600 - 900 мкм
Макс. Искривление
100 мкм
Удельное сопротивление
0,001 - 200 Ом·см
Проверка типа
0,020 - 200 Ом·см
Программное обеспечение
MXNT
