Быстрый измеритель листового сопротивления для кремниевых пластин и проводящих пленок диаметром 50-200 мм.
MX604-S измеряет листовое сопротивление полупроводниковых пластин и проводящих пленок на высокоомных подложках с помощью надежного метода вихревых токов. Полностью самокалибруется, поэтому изменения температуры и влажности незначительны. Встроенный буквенно-цифровой дисплей. Работает как автономно, так и подключается к ПК через последовательный интерфейс, что позволяет собирать данные нескольких измерений, среднее значение или стандартное отклонение для отдельных пластин или целых партий пластин.
Диаметр пластины
2" to 200mm
Толщина
max. 1000 μm
Точность
±3µm
Диаметр датчика
20mm
Активная область
ca. 12mm
Расстояние от края
min. 10mm
Зазор между датчиком и столом
1400 μm
Измерительный стол
300 x 300 mm
Время измерения
0.3 s
Программное обеспечение
EHMaster
