Комбинированный толщиномер и измеритель удельного сопротивления для кремниевых пластин толщиной 150 и 200 мм.
Установка MX608 предназначена для определения параметров кремниевых пластин. В нем объединены бесконтактные датчики толщины и удельного сопротивления. Автоматическое перемещение и поворот пластины позволяет выполнять до 18 сканирований каждой пластины. Подключается к ПК через последовательный интерфейс, программное обеспечение MX-NT. Возможна интеграция в автоматические роботизированные сортировочные системы.
Диаметр пластины
150 мм, 200 мм
Толщина
500 - 800 мкм
Макс. Искривление
100 мкм
Удельное сопротивление
0,001 - 200 Ом·см
Проверка типа
0,020 - 200 Ом·см
Программное обеспечение
MXNT
