Сканер изделий был разработан для измерения уровня загрязнения поверхностными частицами непосредственно на поверхности изделий. Основными областями применения являются производство полупроводников (пленки, сетки, пластины) и производство дисплеев.
Сканер имеет неограниченную область сканирования благодаря модульной и масштабируемой конструкции. Система может быть настроена в зависимости от формы и расположения поверхности, которую необходимо протестировать.
Сканер может использоваться для измерения:
