Установка обеспечивает надежную проверку полупроводникового материала при нарезке пластин на кубики. Установки применяет специальные методы для надежного обнаружения микротрещин и контроля нарезанных пластин. Благодаря этой технологии можно добиться значительного повышения эффективности обнаружения и сокращения времени инспекции.
Инновационная технология обнаружения трещин в нарезанных кубиками пластинах, основанная на интерферометрическом принципе, показала свою особую эффективность и надежность. Мельчайшие микротрещины в матрицах, которые в противном случае оставались бы скрытыми, теперь могут быть оптически обнаружены с беспрецедентной чувствительностью. По запросу установка может быть оснащена автоматическим устройством смены концевых эффекторов, что позволяет одновременно использовать систему для работы с пластинами различных размеров.
Инспекция поверхности:
