Мелкосерийная установка LabSCIL разработана специально для научно-исследовательских лабораторий университетов, исследовательских институтов, а также для компаний, заинтересованных в оборудовании для мелкосерийного и опытно-промышленного производства.
Эксплуатация
Ручная загрузка подложек с покрытием резиста. Процесс печати выполняется автоматически.
Размеры пластин
2" - 8" (200 мм)
Толщина пластин
0,3 - 2,5 мм
Обработка пластин
Ручная загрузка в лоток
Типы резистов
Thermal sol-gel (NanoGlass)
UV sol-gel (NanoGlass)
UV organic (NanoSynth)
Импринтинг
Наноимпринтная литография с мягкими штампами под низким давлением
После печатная обработка
Запекание и охлаждение
Размеры (ШхЛхГ)
1,8 x 1,4 x 2,2 м
Выравнивание наложения
размер пластины < 1 мкм
