Полностью автоматизированный АСМ для измерения выступающих элементов профилей, получение изображений боковых стенок, измерений критических углов. С запатентованной системой раздельного сканирования в латеральной плоскости XY и по оси Z и поворотным Z-сканером АСМ решает сложнейшие задачи с помощью стандартных и конических наконечников (зондов) при точном анализе боковых стенок. Метод True Non-ContactTM позволяет проводить неразрушающее измерение мягких поверхностей фоторезисторов с помощью зондов при высоком соотношении сторон.
Моторизованный XY-штатив
200 мм: перемещение до 275 мм × 200 мм, разрешение 0,5 мкм
300 мм: перемещение до 400 мм × 300 мм, разрешение 0,5 мкм, повторяемость < 1 мкм
Моторизованная ступень фокусировки
Расстояние перемещения по оси Z 9 мм для осевой оптики
Моторизованный угловой диапазон
-19 градусов и +19 градусов
-38 градусов и +38 градусов
Повторяемость углов < 0,5 градуса
Моторизованная Z-образная ступень
27 мм расстояние перемещения по оси Z
Разрешение 0,08 мкм
Повторяемость < 1 мкм
Z-сканер
Диапазон сканирования Z: 15 мкм (большой режим) 2 мкм (малый режим)
Разрешение сканера Z: 0,016 нм (большой режим) 0,002 нм (малый режим)
Z Шумовой порог сканера: < 0,05 нм
Шум детектора сканера Z: 0,02 нм при частоте 1 кГц
Характеристики сканера
Сканер XY
Одномодульный сканер изгиба XY с замкнутым циклом управления
100 мкм × 100 мкм (большой режим)
50 мкм × 50 мкм (средний режим)
10 мкм × 10 мкм (малый режим)
Разрешение сканера XY
0,28 нм (большой режим)
0,03 нм (малый режим)
