Сканирующий зондовый микроскоп NX10 позволяет получить данные, которые можно использовать, тиражировать и публиковать благодаря нано разрешению. Это один из наиболее совершенных атомно-силовых микроскопов бесконтактного типа с длительным сроком службы наконечника (зонда) и сканированием поверхности образца, не нарушающим его целостность, с консольными независимыми сканерами: латеральным XY и осевым Z, которые обеспечивают высокую точность и разрешение в непараллельных плоскостях измерения.
Сканер
Латеральный сканер XY
Z сканер
Консольный одномодульный XY-сканер с замкнутым контуром управления Сканирующий диапазон: 50 мкм × 50 мкм (дополнительно 10 мкм × 10 мкм, 100 мкм × 100 мкм) Разрешение: 0,05 нм Шум детектора: < 0,25 нм (длительность импульса: 1 кГц) Неплоскостность: < 2 нм (режим сканирования свыше 40 мкм)
Направляющий консольный силовой сканер Сканирующий диапазон: 15мкм (дополнительно 30мкм) Разрешение: 0,015 нм Шум детектора: 0,03 нм (длительность импульса: 1кГц) Резонансная частота: > 9кГц (стандартно 10,5кГц) Топографический шум: <0,03нм (стандартно 0,02нм)
Обзор
Линза объектива
Прямой осевой обзор поверхности образца и кантилевер В сборе с линзой объектива 10× (линза с 20-кратным увеличением предлагается дополнительно) Область обзора: 480 × 360 мкм (с 10-кратной линзой объектива) ПЗС: 1 Мегапиксель (разрешение: 0,4 мкм)
10×(0,21NA) линза со сверхдлинной рабочей дистанцией (разрешение 1 мкм) 20×(0,42NA) линза с длинной рабочей дистанцией высокого разрешения (разрешение 0,6 мкм)
Электроника
Обработка сигнала
Встроенные функции
ADC: 18 каналов 4 высокоскоростных ADC канала (64 MSPS) 24-битный ADC для датчика положения сканера X, Y и Z DAC: 12 каналов 2 высокоскоростных DAC канала (64 MSPS) 20-битный DAC для позиционирования сканера X, Y и Z Максимальный размер данных: 4096×4096 пикселей
3 канала гибкого цифрового фиксирующего усилителя Постоянная калибровка пружины (температурный метод, дополнительно) Цифровое Q-управление
Предметный столик
