Высокоточный атомно-силовой микроскоп Park NX20 – самый лучший инструмент в нанометрологии для анализа дефектов и исследования крупных образцов. Данный АСМ оснащается компонентами уникальной конструкции, которые облегчают использование микроскопа при поиске дефектов устройств и разработке креативных проектов. Непараллельная конструкция обеспечивает получение данных с высоким разрешением, которые позволяют Вам уделить основное внимание решению исследовательских задач. Режим True Non-ContactТМ делает работу зонда более четкой и продолжительной, это экономит Ваши время и деньги на обслуживание.
Сканер
Латеральный сканер XY
Z сканер
Консольный одномодульный XY-сканер с замкнутым контуром управления Сканирующий диапазон: 100 мкм×100 мкм (50 мкм×50 мкм, 25 мкм×25 мкм) 20-битный контроль положения и 24-битный датчик положения
Направляющий консольный силовой сканер Сканирующий диапазон: 15 мкм (30 мкм) 20-битный контроль положения и 24-битный датчик положения
Обзор
Линза объектива
Прямой осевой обзор поверхности образца и кантилевер В сборе с линзой объектива 10× (линза с 20-кратным увеличением предлагается дополнительно) Область обзора: 480×360мкм ПЗС: 1 Мегапиксель
10×(0,21NA) линза со сверхдлинной рабочей дистанцией 20×(0,42NA) линза с длинной рабочей дистанцией высокого разрешения
Предметный столик
Диапазон перемещения XY: 150 мм (200 мм в качестве опции) Диапазон перемещения Z: 25 мм Диапазон перемещения фокусировки: 15 мм Точное кодирующее устройство для всех осей (в качестве опции)
