Park NX-Hivac позволяет инженерам, работающим в области исследования анализа отказов, улучшить чувствительность и разрешение их измерений с помощью высоковакуумной сканирующей микроскопии сопротивления растекания (SSRM). Поскольку сканирование в условиях высокого вакуума обеспечивает лучшую точность, повторяемость и в наименьшей мере влияет на износ кантилевера и степень повреждения образца, чем в условиях окружающего атмосферного воздуха или при подаче сухого азота, пользователи могут измерять широкий спектр концентраций примесей и отклики в сферах анализа отказов.
Сканер
Оптика
XY: 50 × 50 мкм (50 × 50 мкм - опция) Z: 15 мкм
Объектив: 10х ПЗС: 5 мегапикселей
Предметный столик
Габаритные размеры
Диапазон перемещений XY: 22 × 22 мм Размеры образца: 50 × 50 мм, высота до 20 мм
Вакуумная камера (внутренняя): 300 × 420 × 320 мм Вакуумная камера (внешняя): 800 × 950 × 730 мм
Программное обеспечение
Электроника
SmartScan: ПО для Park АСМ XEI: ПО для обработки данных Hivac Manager: Auto vacuum контролирующее ПО
АЦП: 18 каналов; 4 высокоскоростных АЦП-канала (50 MSPS); 24-битный АЦП для X, Y, Z-сенсоров ЦАП: 12 каналов; 2 высокоскоростных ЦАП-канала (50 MSPS); 20-битный ЦАП для X, Y, Z-сенсоров; 3 канала со встроенным усилителем
Система высокого вакуумирования Вакуумирование: обычно менее 10-5 торр Скорость откачивания: достижение уровня 10-5 торр менее, чем за 5 минут
