АСМ компании Park Systems серии PTR представляют собой полностью автоматические промышленные конвейерные АСМ для, и не только, автоматизированных измерений впадины полюсного наконечника в заготовке, индивидуальной головке-слайдере, слайдерах HGA. Обладая высочайшей точностью и воспроизводимостью, а также высокой производительностью, PTR серия представляет собой метрологические инструменты для производителей слайдеров (головок), позволяющий повысить выпуск изделий.
Характеристики системы
Моторизированный столик XY
Диапазон перемещения 200 мм × 200 мм, воспроизводимость 2 мкм
Моторизированный столик Z
Диапазон перемещений вдоль оси Z: 30 мм
Разрешение 0,1 мкм, воспроизводимость менее 1 мкм
Характеристики сканера
Диапазон сканера XY
100 мкм × 100 мкм
Разрешение сканера XY
0,095 нм (20-битное управление)
Управление ACM и столиком XY
АЦП
18 каналов
4 высокоскоростных канала АЦП (50 MSPS)
24-битный АЦП для датчиков положения сканера X, Y и Z
ЦАП
12 каналов
2 высокоскоростных ЦАП канала (50 MSPS)
20-битный ЦАП для позиционирования сканера X, Y и Z
