Полностью автоматизированный АСМ для анализа дефектов (ADR) с производительностью до 1000% Технология Smart ADR обеспечивает полностью автоматическое сканирование и идентификацию дефектов, позволяя производить классификацию дефектов прямо на производстве с помощью 3D-изображений высокого разрешения. Разработанная специально для применения в области полупроводников, технология Smart ADR является самым удобным решением для анализа дефектов и характеризуется автоматическим позиционированием, не требующим предварительной калибровки, что зачастую повреждает образец. Технология Smart ADR увеличивает производительность всей системы на 1000% в сравнении с обычными методами сканирования. В добавление, данная технология увеличивает время жизни кантилевера в 20 раз благодаря инновационному методу сканирования True Non-Contact.
Моторизированный столик XY 200 мм
перемещается на расстояние до 275 мм × 200 мм, разрешение – 0.5 мкм
Моторизированный столик XY 300 мм
перемещается на расстояние до 400 мм × 300 мм, разрешение – 0.5 мкм, воспроизводимость менее 1 мкм
Моторизированный столик Z
дистанция перемещения 27 мм,
разрешение 0.08 мкм, воспроизводимость менее 1 мкм
Моторизированный фокусный столик (автофокусирующая подача)
дистанция перемещения вдоль Z: 9 мм для осевой оптики
Допустимая толщина образца
До 20 мм
Биение по оси Z в режиме максимального сканирования
менее 2 нм, воспроизводимость < 1 нм
Распознавание образцов COGNEX
Образец разрешением ¼ пикселя
Характеристики сканера
Диапазон сканера XY
100 мкм × 100 мкм (максимальный режим)
50 мкм × 50 мкм (средний режим)
10 мкм × 10 мкм (минимальный режим)
Разрешение сканера XY
0.28 нм (режим высокого напряжения)
0.03 нм (режим низкого напряжения)
Диапазон сканера Z
15 мкм (режим высокого напряжения)
2 мкм (режим низкого напряжения)
Разрешение сканера Z
0.016 нм (режим высокого напряжения)
0.002 нм (режим низкого напряжения)
Собственный шум сканера Z
Менее 0.05 нм (с активной системой защиты от вибраций)
Шум детектора Z-сканера
0.02 нм при 1 кГц
