SemDex M1 – полуавтоматическая установка для метрологии полупроводниковых пластин. В то время как обработка пластин осуществляется вручную, метрологическая часть выполняется автоматически. SemDex M1 содержит несколько оптических измерительных приборов для измерения геометрических размеров пластин, микросхем, являющихся частью пластины. Метрологический инструмент также оценивает субструктуры микрочипа, если они изготовлены по технологиям фронтальных терминалов (front-end-of-line, FEOL) и тыльных терминалов (back end of line, BEOL). Установка разработана для всех полупроводниковых заводов мира в соответствии со стандартами SEMI.
