SemDex M2 - полностью автоматизированный инструмент для метрологического контроля полупроводниковых пластин. Обработка пластин может быть как ручной, так и полностью автоматизированной. Одно загрузочное отверстие. SemDex M2 содержит несколько оптических измерительных приборов для измерения геометрических размеров пластин, микросхем, являющихся частью пластины. Метрологический инструмент также позволяет оценивать субструктуры микрочипа, если они изготовлены по технологиям фронтальных терминалов (front-end-of-line, FEOL) и тыльных терминалов (back end of line, BEOL). Установка разработана для всех полупроводниковых заводов мира в соответствии со стандартами SEMI.
Применение:
