Технология Скаттерометра, основанная на Фурье-микроскопии с коллимированным освещением, позволяет извлекать такую важную информацию, как оптические характеристики изготавливаемых конструкций, и количественно оценивать качество образцов в процессе изготовления. В основе технологии контроля качества лежит особый подход, при котором образец освещается коллимированным светом под четко определенным углом падения через объектив. При этом для каждого угла падения формируется изображение дифрагированных порядков. Анализируя интенсивность этих порядков в зависимости от угла падения, можно определить оптические характеристики образцов и извлечь их геометрические параметры. С помощью разработанных алгоритмов возможно выделить изменения геометрических параметров образцов и показателей преломления материалов, используемых в процессе обработки.
