PERI-RIE - установка сухого травления на основе технологии реактивно-ионного травления (RIE).
Применение
Травление металлических и диэлектрических материалов
Материал для травления
SiO2, Si3N4, Si, Al, GaN, HfO2, Al2O3, графен и др.
Размер подложки
12 дюймов/шт.
Выход продукта
1 пластина/партия
Источник питания
Мощность РЧ макс. 2Kw@13.56MHz
Предельное давление
< 5,0E-3 Торр
Контроль давления
Автоматический контроль давления (дроссельный клапан, манометр Баратрон)
Подача газа
SF6, CHF3, CF4, C4F8, BCl3, Cl2O2, Ar, He
Вакуумный насос
Сухой насос или роторный насос
Управление
Управление с ПК (программное обеспечение UPRO)
Опции
Загрузочный шлюз
Габариты (Ш*Д*Г)
800 мм X 880 мм X 1 200 мм
