Материалы для осаждения
Металлы: Ag, Al, Au, Cu, Sn, Ti, Pt, Ge, Ni, Au, Оксиды: SiO2, TiO2, Al2O3, Ta2O5, Прозрачные электропроводящие оксиды (ТСО): оксид индия-олова (ITO)
Размер подложки
Макс. 8 дюймов (20,32 см)
Выход продукта
Макс. 22 пластины/партия
Ламповый нагреватель
Maкс. 200℃
Источник питания электронного луча
6 КВт, 10 КВт ИЛИ 15 КВт
Контроллер развертки луча
Цифровое управление
Предельное давление
< 5,0E-7 Торр (крионасос или турбомолекулярный насос)
Контроллер
Управление с ПК (программное обеспечение UPRO)
