Главная
Оборудование
Оборудование для производства микроэлектроники
Нанесение тонких пленок
Установка физического осаждения паров металлов (PVD) ULTECH TERRA

Установка физического осаждения паров металлов (PVD) ULTECH TERRA

Цена: По запросу

Заявка на консультацию

Напылительное оборудование периодического действия. Подложкодержатель в виде многоугольного цилиндра формирует пленку при вращении вокруг вертикального вала.

Особенности:

Высокая скорость напыления
Датчик толщины кристалла для точного контроля толщины
Лоток для источников с одно- или многогнездными электронно-лучевыми источниками и/или одним или несколькими источниками термического испарения
Опциональный нагрев подложки
Высокая проводимость вакуумной откачки
Удобная система управления и программное обеспечение
Обыкновенные покрытия, зеркальные отражающие покрытия, многослойные фильтрующие и антибликовые покрытия (BBAR)

Области применения:

Осаждение металлических электродов для информационных и коммуникационных устройств (резонатор, фильтр, осциллятор, конденсатор, PTC, NTC и т.д.)
Покрытие медицинских приборов (зонды для ультразвуковой диагностики)
Твердое покрытие промышленных машин и инструментов
Металлическое покрытие на стекле
Металлическое покрытие на полимерной подложке

Материалы для осаждения	Оксидные материалы, прозрачные электропроводящие оксиды, металлические материалы
Размер подложки	до 8 дюймов (20,32 см)
Выход продукта	1 кассета (25 пластин/партия)
Размер пистолета для напыления	От 4 до 12 дюймов (10,16-30,48 см)
Количество рабочих камер	До 5 шт.
Мощность плазмы	Радиочастотное, постоянное или импульсное питание постоянным током
Контроль давления	Автоматический контроль давления (дроссельный клапан и баратронный манометр)
Технологические газы	Ar, O2, N2
Температура субсостояния	макс. 450℃
Вакуумный насос	Турбомолекулярный насос или крионасос + роторный насос или сухой насос
Предельное давление	< 5,0E-7 Торр
Опционально	Вращение подложки, охлаждение подложки, плазменная очистка, температура подложки макс. 650℃
Управление	Управление с ПК (программное обеспечение UPRO)

Напылительное оборудование периодического действия. Подложкодержатель в виде многоугольного цилиндра формирует пленку при вращении вокруг вертикального вала.

Особенности:

Высокая скорость напыления
Датчик толщины кристалла для точного контроля толщины
Лоток для источников с одно- или многогнездными электронно-лучевыми источниками и/или одним или несколькими источниками термического испарения
Опциональный нагрев подложки
Высокая проводимость вакуумной откачки
Удобная система управления и программное обеспечение
Обыкновенные покрытия, зеркальные отражающие покрытия, многослойные фильтрующие и антибликовые покрытия (BBAR)

Области применения:

Осаждение металлических электродов для информационных и коммуникационных устройств (резонатор, фильтр, осциллятор, конденсатор, PTC, NTC и т.д.)
Покрытие медицинских приборов (зонды для ультразвуковой диагностики)
Твердое покрытие промышленных машин и инструментов
Металлическое покрытие на стекле
Металлическое покрытие на полимерной подложке

Материалы для осаждения	Оксидные материалы, прозрачные электропроводящие оксиды, металлические материалы
Размер подложки	до 8 дюймов (20,32 см)
Выход продукта	1 кассета (25 пластин/партия)
Размер пистолета для напыления	От 4 до 12 дюймов (10,16-30,48 см)
Количество рабочих камер	До 5 шт.
Мощность плазмы	Радиочастотное, постоянное или импульсное питание постоянным током
Контроль давления	Автоматический контроль давления (дроссельный клапан и баратронный манометр)
Технологические газы	Ar, O2, N2
Температура субсостояния	макс. 450℃
Вакуумный насос	Турбомолекулярный насос или крионасос + роторный насос или сухой насос
Предельное давление	< 5,0E-7 Торр
Опционально	Вращение подложки, охлаждение подложки, плазменная очистка, температура подложки макс. 650℃
Управление	Управление с ПК (программное обеспечение UPRO)